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殘余氣體分析儀(RGA)何時使用

發(fā)布時間:2020-07-10

萊寶殘余氣體分析儀(RGA)也有檢漏的功能,它和檢漏儀有什么區(qū)別呢?

讓我們探討一下檢漏儀和殘余氣體分析儀(RGA)的功能,以及何時需要使用RGA技術(shù)吧。

PART1\檢漏儀如何工作

檢漏儀可以識別,分析和測量進入或泄漏出封閉空間的氣體或流體。檢漏儀通常內(nèi)置真空系統(tǒng),既能搜索漏點,又能測量漏率。 

大多數(shù)檢漏儀使用磁扇區(qū)質(zhì)譜,檢測氦氣。粒子在真空中被電離,并隨著電壓的增加而加速,從而在磁場中將其分離,并將離子轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏鳌?/p>

PART2\殘余氣體分析儀(RGA)

殘余氣體分析儀(RGA)的功能不僅僅限于氦氣,它能評估空間中存在的所有氣體。

RGA的三個基本組成部分

離子源 -- 離子源用于將空間中的氣體轉(zhuǎn)化為離子。從熱燈絲發(fā)射的電子利用電偏壓加速??焖僖苿拥碾娮优c氣體分子碰撞,將氣體電離。 

離子過濾器(四極杠)-- 在給定條件下只有特定的離子能“穿”過四級桿到達探測器。

檢測器 -- 穿過過濾器的離子與法拉第杯的金屬板碰撞收集。隨著電子轉(zhuǎn)化為電信號,離子被中和,形成離子的電流。

PART3\RGA和檢漏儀:異同

RGA和檢漏儀都利用質(zhì)譜原理。與檢漏儀相比RGA的優(yōu)勢在于它能檢測氦氣以外的氣體如丙酮或甲醇等,所以RGA的功能更多 “檢漏”只是RGA的附加功能之一。

RGA沒有配備獨立的真空系統(tǒng),需要設(shè)備的真空系統(tǒng)支持。

PART4\RGA何時有所作為

RGA既可以用于極高真空系統(tǒng)的殘余氣體分析又能作為工藝氣體監(jiān)測儀實現(xiàn)工藝控制。

RGA應(yīng)用示例

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