氦氣壓縮機(jī)的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間：2024-01-17

1.主要應(yīng)用于半導(dǎo)體，充當(dāng)前道制程設(shè)備的蒸發(fā)、濺射和離子注入真空系統(tǒng)的保護(hù)氣。在半導(dǎo)體加工過程中發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)通常是基于氣體或液體的，因此在硅周圍使用惰性氣體可以防止發(fā)生不必要的反應(yīng)。而氦氣不會(huì)與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，化學(xué)性質(zhì)極不活潑，因?yàn)樗倪@一“惰性”性質(zhì)，讓它成為半導(dǎo)體制造的理想氣體。
2.氦氣壓縮機(jī)用于航空航天領(lǐng)域。氦氣在航天飛行中被用作氣球、氣墊、氣動(dòng)控制、火箭推進(jìn)劑等。特別是在宇航員太空出行時(shí)，氦氣是保護(hù)宇航員的必備氣體，可以防止高輻射和空間寒冷。
3.氦氣壓縮機(jī)也用于物理研究所，氦被用于粒子加速器和核物理實(shí)驗(yàn)，以用于高能物理研究。
4.氦氣壓縮機(jī)可以做為低溫制冷機(jī)的重要組成部分，主要有氦壓縮泵、油氣分離器、吸附器、冷卻系統(tǒng)、電控系統(tǒng)及儀表系統(tǒng)組成。在現(xiàn)代工業(yè)中，低溫制冷應(yīng)用于電子工業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)、光學(xué)工業(yè)、食品速凍、醫(yī)學(xué)設(shè)備等領(lǐng)域。
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