RGA和檢漏儀都利用質(zhì)譜原理。與檢漏儀相比RGA的優(yōu)勢在于它能檢測氦氣以外的氣體如丙酮或甲醇等,所以RGA的功能更多 “檢漏”只是RGA的附加功能之一。
RGA沒有配備獨立的真空系統(tǒng),需要設(shè)備的真空系統(tǒng)支持。
RGA既可以用于極高真空系統(tǒng)的殘余氣體分析又能作為工藝氣體監(jiān)測儀實現(xiàn)工藝控制。
RGA和檢漏儀都利用質(zhì)譜原理。與檢漏儀相比RGA的優(yōu)勢在于它能檢測氦氣以外的氣體如丙酮或甲醇等,所以RGA的功能更多 “檢漏”只是RGA的附加功能之一。
RGA沒有配備獨立的真空系統(tǒng),需要設(shè)備的真空系統(tǒng)支持。
RGA既可以用于極高真空系統(tǒng)的殘余氣體分析又能作為工藝氣體監(jiān)測儀實現(xiàn)工藝控制。
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